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マイクロ真空計
1．マイクロ真空計の概要
超小型熱電対型真空計です。測定範囲は0.01～1000Paでありピラニー真空計の代替が可能です。また、シリコンMEMS加工にて作製していますので大量生産が可能です。
一般的に、真空領域は①粘性流領域、②中間流領域、③分子流領域に区分されます。これらの領域では熱の伝達の様子が異なます。①粘性流領域（1000Pa～大気圧）では、主に気体分子によって熱が伝達されます。特徴としては、圧力が変化しても熱伝達量はあまり変わりません。②中間流領域（0.01～1000Pa)でも主に気体分子によって熱が伝達されます。しかし、①に比べ気体分子の密度は小さくなっています。この領域の特徴としては熱伝達は気体分子の密度に比例します。③分子流領域（0.01Pa以下)での熱伝達は、主に熱放射により伝達されます。すなわち気体密度が非常に小さいため、熱を伝達する分子が少ないのです。そのためこの領域での熱伝達量は非常に小さいです。この特性を利用したのが魔法瓶です。
本マイクロ真空計では②中間流領域にて使用可能です。MEMS加工により構成した中空断熱構造体において、マイクロヒータより発生させた熱の伝達度合いを熱電対で測定することによって、真空値を間接的に求めます。詳しくは動画をご覧ください。
マイクロ真空計：TPM227
本製品はMEMS加工技術により、作製されたマイクロサイズの熱電対真空計です。通常のシリコンプロセスで製造が可能な為、大量生産が可能です。従来の気体の熱伝導を利用するピラニ真空計から、小型な本製品に置き換える事が可能です。小型であるため、真空が必要な製品のモニタとしても使用できます。
■製品概要
・真空度計測 ※グラフ参照
■用途
・従来真空計の置換え
・真空封止デバイスの信頼性評価
・微小空間の気圧測定
