マイクロ真空計を開発
この度、コーデンシのMEMS加工技術を活用し、極微小空間の真空度を計測が可能な、新しいタイプのセンサを開発いたしました。
本成果は、独立行政法人 科学技術振興機構の研究成果最適展開支援事業におけるシーズ発掘において、
立命館大学との研究開発の成果として、得られたものです。
特徴
■超小型 (チップサイズ0.8mm×0.8mm)
■簡単な測定回路
■低圧領域の測定が可能
考えられる用途
■真空封止デバイスの信頼性評価
■微小空間の気圧測定
■従来の真空計の置換え
■その他
小型パッケージ等、形状に関しては、ご相談ください。
チップでのご提供もさせていただきます。
Development Guide Sheetもあわせてご確認ください。
■マイクロ真空計に関するお問い合わせ先
E-Mail：info-rd@kodenshi.co.jp